Лаборатория использовала воздух, кислород или аргоновую плазменную атмосферу очиститель для плоского видеомонитора
Описание продукта:
Краткое описание более крупных очиститель для плоского видеомонитора:
PCE-8 является L arger очиститель для плоского видеомонитора с 8,5 "dia x 14" "L кварцевая камера и 0-80 Вт variab L e RF Мощность. Он предназначен для очистки и удаления наномасштабного органического загрязнения на подложке или Вафле до 8 дюймов с помощью воздуха, кислорода или аргоновой плазмы. Скорость органического удаления составляет около 20 нм/мин Макс. при высокой мощности RF. Это отличный инструмент для предварительной очистки монокристаллической подложки перед эпитаксиальным осаждением пленки для достижения лучшего качества. Если у вас нет опыта в очистке поверхности плазмы, пожалуйста, обратитесь к изделиям следующим образом
Характеристики очиститель для плоского видеомонитора:
Входная мощность
AC 220 В, 50/60 Гц,
PF мощность: 80 Вт макс.
Вакуумный насос: нормальная 550 Вт, старт 750 Вт
Общая мощность: 830 Вт макс.
Рабочий ток <= 3A
RF Мощность
Мощность RF регулируется в пределах 0-80 Вт
Частота RF: 13,56 мгн
Камеры плазмы
8,5 "O.D x 8,2" I.D x 14 "L камера высокого качества
Объем: 100L
Передний фланец навесного типа из алюминия
2,3 "Dia. (60 мм) Кварцевое окно для удобного наблюдения
Полностью радиочастотный радиационный щит с нулевым радиочастотным протеканием
Панель управления
6 "цветной сенсорный экран для автоматического управления всеми параметрами для плазменной очистки, такими как уровень вакуума, расход газа, уровень мощности RF и время очистки.
Построен в одно касаниеКанал массовый расходомер(0-500 мл/мин) для контроля потока газа в пределах +/-0,5 мл/м
Вакуумный насос и клапан
240 L/м сверхмощный роторный лопасти вакуумный насос с выхлопом Fi L тер, адаптер KF25D и C L амперВключены для немедленного использования
Максимальное общее давление 50 mTorr
Инертного газа
Многие нейтрального могут быть выбраны для чистки плазмы, как, например, N2, Ar, воздухом и смешанный газ зависит от того, какой материал будет рассматриваться. (в комплект не входят в посылка)
Не должен использоваться легковоспламеняющийся газ для очиститель для плоского видеомонитора
Опционально
Может использовать2 "-6" вафли кварцевая лодочка, Как круглый держатель образца вафли.
Может использовать 2-4 канала подачи газа sytem для заполнения смешивающих газов
Может заказ кварцевая лодочка для чистой стандартной вафли 1-6"
Габаритные размеры
620 L ×600 W ×600 H, мм
24 "x 23,5" x 23,5 "(дюйм)
Доставка вес и размер
350 фунтов с вакуумным насосом
48 "x 40" x 37"
Гарантия
Один год ограниченной гарантии с пожизненной поддержкой (без гарантии для стеклянной камеры Pyrex)
Дисплей очиститель для плоского видеомонитора:
Другие очиститель для плоского видеомонитора, которые у нас:
Упаковка & Доставка
Дощатый ящик
Информация о компании
Zhengzhou CY Scientific Instrument co., Ltd.-Это высокотехнологичное предприятие, зарегистрированное в Чжэнчжоу, провинция Хэнань.Zhengzhou CY Scientific Instrument co., LtdВ основном занимается исследованием и разработкой, проектированием и производством оборудования, используемого в научных исследованиях. НашиВ первую очередьТовары включает высокотемпературные печи и нагревательные элементы, такие как лабораторная муфельная печь, трубчатые печи, стоматологические печи, вакуумные печи, плавильные печи золота, SiC нагревательный элемент, MoSi2 нагревательный элемент, трубы из оксида алюминия и тигли и т. д.
